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难产的国产光刻机

放大字体  缩小字体 2020-05-20 13:50:25  阅读:8531 来源:腾讯科技作者:责任编辑。王凤仪0768

首要简略来说一下光刻机,光刻机作为半导体职业中重中之重的利器,中科院光电所的胡松、贺晓栋在《中科院之声》宣布的一篇文章中这样介绍它的重要性:后工业年代包含现在的工业3.0、工业4.0,都以芯片为根底,光刻机作为制作芯片的东西,就相当于工业年代的机床,前工业年代的人手。

五代光刻机

依据所运用的光源的改善以及工艺的不断创新,光刻机阅历了五代产品的开展,其间每次光源的改善都明显提升了光刻机所能完成的最小工艺节点。

国产光刻机为何“难产”

尽管中芯世界表明可以不运用光刻机,用自研的“N+1”制程工艺就可以研宣布7nm工艺(逼得中芯都直接不必光刻机了),但5nm甚至更先进制程工艺芯片产品也是离不开光刻机的。

据音讯称,华为现在所规划的芯片现已正式进入到了5nm年代,行将鄙人半年推出的麒麟1020芯片就会选用5nm芯片工艺。

此外,近期国产光刻机也迎来好音讯:上海微电子公司打破封闭,研宣布 22nm 光刻机。尽管与国外距离还很大,但这也是我国在光刻机范畴的先进水平。

信任未来跟着国产自主研制的脚步,咱们能脱节对国外厂商的依靠,国产芯片能完成飞速开展。但在未来之前,还有很长一段路要走。

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